無塵車間(潔淨室)是通過技術手段控制室內汙染物濃度的特殊空間,潔淨度檢測是評估其環境達標的關鍵,塵埃粒子計數器則是主要的檢測設備。
洁净度分级直接决定采样体积标准,GBJ73-84 明确规定:100级洁净室单次取样量需≥1L,1000~10000 级需≥0.3L,万级需≥0.1L。其中100级洁净室推荐使用高流量计数器,若不具备相关设备,也必须保证单次采样体积不小于1L。实际检测时,需在满足对应级别最小采样体积要求的基础上,尽量选用大流量设备。
當前潔淨度檢測以光散射粒子計數器爲主,工作原理是通過捕捉微粒散射的光線,換算得出微粒的粒徑與數量。這類設備能自動連續測量室內空氣含塵量,直接顯示瞬時粉塵濃度,還可實現不同粒徑濃度的測量,操作便捷高效。按光學結構劃分,它主要有側散射型(照明與檢測系統光軸交叉)和後向散射型(兩系統光軸共線)兩類,相比電子顯微鏡等設備更適用于實時監測場景。
采样过程需遵循等速原则,即采样管入口方向要与被采样单向气流方向一致,且入口空气平均速度需与测点气流平均速度相同。非等速采样对≤0.5μm 的颗粒影响较小,但会导致≥0.5μm 颗粒的浓度计算失真。
检测点布局需符合 GB50073-2013《洁净厂房设计规范》:所有测点均位于距室内地坪 1.00m 的水平面内;单向流洁净室测点总数不少于 20 个,间距控制在 0.5~2.0m,水平单向流的测点仅布置在工作区域内;非单向流洁净室面积≤50m? 时,需布置5 个测点。